10月15日，自动化学院在柳东校区教学楼T2-204召开主题为“MEMS技术在微波器件中的应用”的学术讲座。本次讲座邀请到李含雁教授作为主讲嘉宾。
图1 李含雁教授讲解干法刻蚀工艺
李含雁教授以“MEMS技术”为主题，全面介绍了MEMS（微机电系统）技术的基本概念、发展历史及其在社会生活、工业生产等领域的广泛应用。从MEMS器件的设计原理出发，李教授重点阐述了体硅加工、表面加工、LIGA加工等多种加工工艺，并深入探讨了这些工艺在MEMS制造中的应用、优势与局限性。讲座最后，李教授还展示了其课题组在该领域的最新研究成果。
此次讲座不仅加深了同学们对MEMS技术在微波器件中应用的理解，还激发了同学们对MEMS技术研究的兴趣和热情，为推动MEMS技术的进一步发展与应用注入了新的动力。
